硅基MEMS二维生物微探针阵列技术研究

论文选题：作者充分调研了MEMS技术、脑-机接口技术以及微电极技术的国内外发展现状，提出以硅基MEMS二维生物微探针阵列的设计及研制作为论文的研究内容，该技术在医学电子领域中具有重要的研究价值，有着广泛的应用前景。

论文体例：论文写作概念清晰，版式规范，条理清楚，图表内容翔实，结构合理，层次分明，文理通顺，总结提炼准确。参考文献时效性强，标注准确，封面、声明、中英文摘要及关键词、目录、正文符合标准。论文能够详细记录工艺实验的实施、经验总结和工艺完善过程，较好把握了技术报告类论文的撰写要点。

研究内容：论文通过微电极阵列的工作原理分析完成了版图设计，并提出了相应工艺加工流程；在工艺流水过程中，对比分析了不同工艺条件的实验结果，通过经验总结优化了工艺流程和工艺条件，进一步提高了样品性能；论文还完成了阵列封装以及性能测试等工作。这些工作体现出作者具有较高的学术素质和工程实践能力。

工作量：论文完成了微电极阵列的原理分析、版图设计、工艺流程设计、流片实验及工艺参数调整、样品试制、封装及测试等工作，论文工作量饱满。

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